●加工总行程不小于200 μm×200 μm×200 μm,加工台位移精度不大于1 nm
●可以实现三维结构打印 ●最小聚合物打印线宽小于200 nm
主要应用加工三维微光学(微人工复眼)、微机械(微齿轮、微镊)、微流控(微流体混合、过滤、反应催化)器件
代表性应用成果1 Zhaoxin Lao, Deng Pan, Hongwei Yuan, et al. Mechanical-Tunable Capillary-Force-Driven SelfAssembled Hierarchical Structures on Soft Substrate. ACS Nano, 2018, 12(10): 10142-10150.
2 Bing Xu, Yang Shi, Zhaoxin Lao et al. Real-time two-photon lithography in controlled flow to create a single-microparticle array and particle-cluster array for optofluidic imaging. Lab on a chip, 2018, 18: 442-450. (Inside back cover feature article)
主要用户单位 | 高校、科研院所 |
研制单位 | 中国科学技术大学 |
联系方式 | 吴东 15755125053 dongwu@ustc.edu.cn |