OLED有机薄膜太阳能电池沉积设备:OLED-500
Organic Film Solar Cell Deposition Equipment

性能指标

● 极限压力≤ 6×10−5 Pa      ● 样品尺寸≤ 4吋

● 具有掩膜互换功能

主要应用

制备金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研和批量生产前的试验工作

代表性应用成果

柔性发光显示器的应用;采用玻璃衬底实现大面积平板显示;用于军事器械的显示终端

 
主要用户单位 加拿大多伦多大学、福州大学、哈尔滨理工大学、苏州大学、济南大学、盈天科技有限公司等
研制单位 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
联系方式 方老师 024-23826855、23826899、23826827、23826820