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高能衍射仪:RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer
中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 57-57
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 57-57

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高能衍射仪:RHEED-15、RHEED-25[J]. 中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 57-57
Reflective High Energy Electron Diffractometer[J]. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 57-57
高能衍射仪:RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer

性能指标

● 能量范围15—35 keV        ● 束斑直径50—80 μm

● 在LMBE设备可以观测出20个以上的强度震荡分析曲线，代表着沉积20个原子层薄膜

● 工作气压范围1×10−8 Pa—100 Pa

主要应用

作为薄膜材料制备中原位实时测监手段，在MBE、PLD、ALD、MOCVD等设备上被广泛应用

代表性应用成果

主要用户单位 中国科学院半导体研究所、北京邮电大学、成都电子科技大学、浙江大学、中国科学院上海微系统研究所、中国科学院物理研究所等
研制单位 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
联系方式 方老师 024-23826855、23826899、23826827、23826820