表(Table )
引用本文
源表级多通道气体敏感测试平台:SMP-4[J]. 中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 61-61
Source Meter-based Multichannel Gas Sensing Test Platform[J]. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 61-61
源表级多通道气体敏感测试平台:SMP-4
Source Meter-based Multichannel Gas Sensing Test Platform
● 采集电压或电阻信号，精度高，数据可靠 ● 采用功率法控温，温度均匀一致
● 电阻测量范围宽：可精确测量G欧姆级气敏器件
● 兼容性高：兼容所有类型气敏元件，包括陶瓷管式、平面式、MEMS式
主要应用半导体材料的气体敏感性能测试与评估
代表性应用成果
| 主要用户单位 | 中国科学院、中国科学技术大学、浙江大学、陕西师范大学、西安交通大学、北京科技大学 |
| 研制单位 | 中国科学院固体物理研究所 |
| 联系方式 | 张洪文 17755151415 |