表(Table )
引用本文
多自由度精密工件台系列:定制[J]. 中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 69-69
Multi-degree of Freedom of Precision Stage[J]. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 69-69
多自由度精密工件台系列:定制
Multi-degree of Freedom of Precision Stage
● 行程：0.1—1 m ● 定位精度：20—200 nm
● 速度20—800 mm/s
主要应用精密测量、光刻设备
代表性应用成果● 投影光刻机 ● 电子束光刻机
● 大面积光栅刻划机 ● 半导体检测设备
● 其他检测仪器
| 主要用户单位 | 中国科学院电工研究所、长春光学精密机械与物理研究所、光电研究院、重庆绿色智能院、微电子研究所、广州生物医药与健康研究院、中国电子科技集团48所、41所，电子科技大学、四川大学等 |
| 研制单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 联系方式 | 赵立新 028-85101784，13568853630 zhaolixin@ioe.ac.cn |