基于SEM的nano-CT系统:nanoCT-30

Nano-CT System Based on SEM

中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 74-74

Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 74-74

引用本文

基于SEM的nano-CT系统:nanoCT-30[J]. 中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 74-74

Nano-CT System Based on SEM[J]. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 74-74

基于SEM的nano-CT系统:nanoCT-30

Nano-CT System Based on SEM

性能指标

● 名义最高：300 nm ● 空间分辨率：500 nm ● 成像速度：100 s/帧

● 加速电压：0.3 V—30 kV ● 最大电子束束流：200 nA ● 可更换4种靶材

主要应用

生命科学、多孔多相介质的材料三维无损显微检测

代表性应用成果