表(Table )
●溅射离子泵：SIP系列产品，极限真空：≤ 1×10-9 Pa，抽速范围：3—1000 L/s
●涡旋干泵：WXG系列产品，抽速2 L/s、4 L/s、8 L/s、16 L/s
●超高真空插板阀：CC(Q)-J系列产品，口径：DN63—DN200 (mm)，漏率：< 5×10−8 Pa.L/s
●分子泵：普通分子泵、磁悬浮分子泵系列产品，抽速范围：20—3600 L/s, 极限真空≤ 1×10-7 Pa
主要应用广泛用于高真空和超高真空环境的获得
代表性应用成果第三、四代粒子加速器，MBE/LMBE
| 主要用户单位 | 中国科学院高能物理研究所、中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、国内多所重点院校、航空航天研究所等 |
| 研制单位 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京中科科仪股份有限公司 |
| 联系方式 | 万老师 024-23826855，010-82548038 |