表(Table )
引用本文
平面激光干涉仪：PG15[J]. 中国科学院院刊, 2019, 34(Z1): 95-95
Plane Laser Interferometer[J]. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2019, 34(Z1): 95-95
平面激光干涉仪：PG15
Plane Laser Interferometer
●可测元件直径D ≤ 200 mm ●测量波长632.8 nm或根据用户需求定制
●测量精度优于二十分之一波长 ●可选配机械式相移功能
主要应用广泛地应用于精密光学制造、半导体等
代表性应用成果
| 主要用户单位 | 国防科技大学、中国船舶重工集团公司第717研究所、中国科学院上海技术物理研究所、福州高意科技有限公司、福建华科光电有限公司、福州福特科光电有限公司、福州新三捷光电技术有限公司、江苏普世祥光电技术有限公司等 |
| 研制单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 联系方式 | 刘世杰 021-59962310，13701930842 shijieliu@siom.ac.cn |