主要技术与性能指标

原创高通量连续梯度组分薄膜生长技术

LMBE ●成膜腔体内基片加热温度：工作温度900℃

●样品台四轴运动：X/Y移动范围，±5.5 mm；Z轴移动范围，±12.5 mm；自转分辨率，0.1度

●靶托三轴运动：开环自转、闭环公转，分辨率0.1度；Z轴运动范围：±40 mm   ● 6个1英寸靶位

●掩膜板两轴移动：闭环绕轴转动（转动精度达到0.02度）；直线运动范围：±10 mm

●能够实现在10⁻¹ Torr量级气压环境下的RHEED的原位观测

STM ●工作温度：低至5.5 K   ● X/Y/Z样品移动范围：10 mm×10 mm×10 mm，1 µm分辨率  ●分辨率：原子级别分辨率

主要应用

金属-绝缘体转变、高温超导电性、巨磁阻效应、重费米子

代表性应用成果

该系统的详细介绍发表在《科学仪器评论》杂志上（He G, Wei Z X, Feng Z P, et al. Combinatorial laser molecular beam epitaxy system integrated with specialized low-temperature scanning tunneling microscopy. Review of Scientific Instruments, 2020, 91: 013904）