表(Table )
引用本文
600 mm激光干涉仪（含拼接装置）：IFM600-WT(S). 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 104-104
Φ600 mm Laser Interferometer (Including Stiching Device). Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 104-104
600 mm激光干涉仪（含拼接装置）：IFM600-WT(S)
Φ600 mm Laser Interferometer (Including Stiching Device)
●测量口径：Φ600 mm（可定制到Φ800 mm） ●标准参考镜面形精度（PV）：优于0.1 λ
●重复性RMS：优于0.6 nm ●系统传递函数：（ITF）>0.7@0.4 cycles/mm
●拼接测量口径：1 400 mm×420 mm ●拼接测量精度（PV）：优于0.1λ
主要应用强激光装置、天文光学、空间光学等领域大口径光学元件检测
代表性应用成果发明专利
●刘世杰, 周游, 白云波, 等.大口径高平行度光学元件波前检测装置:中国, ZL 201610024221.1. 2018-12-25.
●刘世杰, 周游, 白云波, 等.双通道双波长干涉检测装置:中国, ZL 201610551583.6. 2019-06-18.
●刘世杰, 白云波, 周游, 等.平面光学元件绝对面形检测装置:中国, ZL 201710380378.2. 2019- 05-17.
| 主要用户单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所、上海恒益光学精密机械有限公司、中国建筑材料科学研究总院、中国工程物理研究院八所、苏州大学、中国科学技术大学、上海理工大学等 |
| 研制单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 联系方式 | 刘世杰 021-59962310，13701930842 shijieliu@siom.ac.cn |