表(Table )
引用本文
多自由度精密工件台系列：定制. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 111-111
Multi-degree of Freedom of Precision Stage. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 111-111
多自由度精密工件台系列：定制
Multi-degree of Freedom of Precision Stage
●行程：0.1—1 m ●定位精度：20—200 nm
●速度：20—800 mm/s
主要应用精密测量、光刻设备
代表性应用成果●投影光刻机 ●电子束光刻机 ●大面积光栅刻划机
●半导体检测设备 ●其他检测仪器
| 主要用户单位 | 中国科学院电工研究所、长春光学精密机械与物理研究所、光电研究院、重庆绿色智能院、微电子研究所、广州生物医药与健康研究院，中国电子科技集团48所、41所，以及电子科技大学、四川大学等 |
| 研制单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 联系方式 | 赵立新 028-85101784，13568853630 zhaolixin@ioe.ac.cn |