表(Table )
引用本文
短相干激光干涉仪. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 113-113
Short Coherence Laser Interferometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 113-113
短相干激光干涉仪
Short Coherence Laser Interferometer
●最大测量口径：30 mm、60 mm、100 mm ●平面面形精度PV：优于λ/20@633 nm
●可测最小平行平板厚度：0.2 mm
主要应用平行平板光学元件面形检测
代表性应用成果●手机摄像头窗口、背板检测
●蓝宝石玻璃基底检测
●分光平片检测
| 主要用户单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所、中国科学院大连化学物理研究所、上海乾曜光电有限公司 |
| 研制单位 | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 联系方式 | 李杨 010-82178622，18710020052 liyang@aoe.ac.cn |