动态干涉仪

动态干涉仪

Dynamic Interferometer

中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 114-114

Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 114-114

引用本文

动态干涉仪. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 114-114

Dynamic Interferometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 114-114

动态干涉仪

Dynamic Interferometer

主要技术与性能指标

●面形精度PV：优于λ/10

●重复测量精度：0.5λ/1 000

●最大测量干涉腔长：50 m

主要应用

大口径、长焦距面形与光学系统波前检测

代表性应用成果

25 m曲率半径凹面反射镜面形测量