表(Table )
引用本文
基于SEM的nano-CT系统：NanoCT-30. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 133-133
Nano-CT System Based on SEM. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 133-133
基于SEM的nano-CT系统：NanoCT-30
Nano-CT System Based on SEM
●名义最高空间分辨率：200 nm ●实测空间分辨率：500 nm ●成像速度：100 s/帧
●加速电压：0.3 V—30 kV ●最大电子束束流：200 nA ●可更换4种靶材
主要应用生命科学、材料科学中多孔、多相介质的材料三维无损显微检测
代表性应用成果
| 主要用户单位 | 中国工程物理研究院 |
| 研制单位 | 中国科学院电工研究所、北京中科科仪股份有限公司 |
| 联系方式 | 刘俊标 010-82547185，13693629614 liujb@mail.iee.ac.cn |