表(Table )
引用本文
二维真空机械手. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 134-134
Two-Dimensional Manipulator. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 134-134
二维真空机械手
Two-Dimensional Manipulator
●可以在大气~2×10−8 Pa条件下可靠使用 ●线性耦合动力：180 N
●耦合动力扭矩：4 N/M
主要应用科学仪器、真空互联装置等
代表性应用成果满足真空腔体内的线性运动和旋转运动或几种组合使用要求，能够将样品传递到真空腔体内的指定位置
| 主要用户单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站、南京大学等超高真空实验装置 |
| 研制单位 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 联系方式 | 万向明 024-23826819，13998191237 wanxm@sky.ac.cn |