表(Table )
引用本文
氟油检漏平台：HF-3型、HF-4型. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 137-137
Fluorined Oil Leak Detection Device. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 137-137
氟油检漏平台：HF-3型、HF-4型
Fluorined Oil Leak Detection Device
●加压罐本底真空度：优于50 Pa
●充气压力：≤ 1.0 MPa
●加热温度：125℃ ±5℃
●升温时间：从室温到125℃，≤ 30 min
●氦气罐尺寸：157 mm×246 mm
●氮气罐尺寸：157 mm×246 mm
主要应用半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行检漏
代表性应用成果半导体器件、集成电路等
| 主要用户单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所、北京宇翔电子有限公司等 |
| 研制单位 | 北京中科科美科技股份有限公司 |
| 联系方式 | 王高峰 010-61778196，13671351290 wanggaofeng@kyky.com.cn |