深紫外激光调制反射光谱仪:DUV-PR

深紫外激光调制反射光谱仪:DUV-PR

Deep-Ultraviolet Photoreflectance Spectrograph

中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 16-16

Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 16-16

引用本文

深紫外激光调制反射光谱仪:DUV-PR. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 16-16

Deep-Ultraviolet Photoreflectance Spectrograph. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 16-16

深紫外激光调制反射光谱仪:DUV-PR

Deep-Ultraviolet Photoreflectance Spectrograph

主要技术与性能指标

●激发光源：177.34 nm ●光谱扫描范围：180—1 100 nm ●光谱分辨率：优于0.06 nm

●控温范围：10—300 K ●真空度：2.5×10⁻⁶ Torr ●调制反射比：优于10⁻⁴

主要应用

半导体材料能带结构表征等

代表性应用成果