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氦质谱检漏仪:ZQJ-2000/2300
Helium Leak Detector
中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 52-52
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 52-52

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氦质谱检漏仪:ZQJ-2000/2300. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 52-52
Helium Leak Detector. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 52-52
氦质谱检漏仪:ZQJ-2000/2300
Helium Leak Detector

主要技术与性能指标

●最小可检漏率：＜2×10—11 Pa · m3/s   ●反应时间：≤ 2 s

●启动时间：＜7 min   ●漏率指示范围：1×10—11—1×10—5 Pa·m3/s

●允许检漏口最高压力：1 000 Pa   ●用户接口：RS232、外控IO

主要应用

主要用于真空系统检漏。应用领域包括真空制造、低温制冷、汽车制造、电子元件、锂电池、高压电气、燃气管道、航空航天、核工业、集成电路、新能源等行业

代表性应用成果

●真空系统检漏  ●燃气管道检漏

●半导体器件检漏

主要用户单位 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、核工业理化工程研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、北京创世威纳科技有限公司、成都新连通低温设备有限公司
研制单位 北京中科科仪股份有限公司
联系方式 张彦海  010-82548090，15210997162  zhangyanhai@kyky.com.cn