表(Table )
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真空泵、离子泵. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 86-86
Roots Blower Vacuum Pumps. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 86-86
真空泵、离子泵
Roots Blower Vacuum Pumps
系列罗茨干式真空泵 ●抽速：600—4 200 m3/h ●极限压力：0.2 Pa
系列涡旋干式真空泵 ●抽速：2—16 L/s ●极限压力：＜1 Pa
系列溅射离子泵 ●极限真空度：5×10−10 Pa ●漏磁率：泵口处≤ 1 Gs
●清洁度：>50质量数的气体分压；小于5×10−13 mbar
主要应用●系列罗茨干式真空泵：集成电路、太阳能电池、LED、生物医药、冶金等领域
●系列涡旋干式真空泵：大科学工程、生物制药、食品安全、手机屏贴合等领域
●系列溅射离子泵：科学仪器、半导体、大科学工程、航空航天仪器等全行业的高端应用
代表性应用成果离子泵应用在真空互联装置上
| 主要用户单位 |
系列罗茨干式真空泵：中芯国际集成电路制造有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海华力微电子有限公司、北方华创科技集团股份有限公司 系列涡旋干式真空泵：中国科学院高能物理研究所、清华大学、北京大学等 系列溅射离子泵：中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、上海实路真空技术工程有限公司、中国原子能科学研究院等 |
| 研制单位 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 联系方式 | 万向明 024-23826819，13998191237 wanxm@sky.ac.cn 周景玉 024-23826802，13940280695 zhoujy@sky.ac.cn |