主要技术与性能指标

FF-200/1401  FF-250/2301  FF-320/3001

● N₂抽速1 400L/s  ● N₂抽速2 200L/s  ● N₂抽速3 200L/s

●极限真空2×10⁻⁶ Pa(KF)  ●极限真空2×10⁻⁷ Pa(CF)  ●极限真空5×10⁻⁷ Pa(CF)

●额定转速33 000 r/min  ●额定转速30 000 r/min  ●额定转速24 000 r/min

● N₂压缩比10⁷，重量51 kg  ● N₂压缩比10⁷，重量58 kg  ● N₂压缩比10⁸，重量75 kg

主要应用

产品为真空获得设备，是实现和保证真空状态下工艺过程的基础条件。系列产品广泛应用于：基础科学研究、高端装备制造、汽车工业、新能源、新材料、太阳能、分析仪器、电子与半导体、节能环保等领域。同时也为客户提供众多定制化的配套解决方案

代表性应用成果

ITO镀膜系统设备、工业镀膜系统设备、新材料试验、科学研究、飞机控制设备