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高能衍射仪:RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer
中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 89-89
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 89-89

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高能衍射仪:RHEED-15、RHEED-25. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 89-89
Reflective High Energy Electron Diffractometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 89-89
高能衍射仪:RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer

主要技术与性能指标

●能量范围：15—35 keV   ●束斑直径：50—80 μm   ●工作气压范围：1×10−8—100 Pa

●在LMBE设备可以观测出20个以上的强度震荡分析曲线，代表着沉积20个原子层薄膜

主要应用

作为薄膜材料制备中原位实时测监手段，在MBE、PLD、ALD、MOCVD等设备上被广泛应用

代表性应用成果

主要用户单位 中国科学院半导体研究所、北京邮电大学、成都电子科技大学、浙江大学、中国科学院上海微系统研究所、中国科学院物理研究所等
研制单位 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
联系方式 万向明  024-23826819，13998191237  wanxm@sky.ac.cn