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超高真空闸板阀:CCQ-J系列、CC-J系列、CCQ-200-JA系列、CC-B系列
Ultra-high Vacuum Gate Valve
中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 90-90
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 90-90

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超高真空闸板阀:CCQ-J系列、CC-J系列、CCQ-200-JA系列、CC-B系列. 中国科学院院刊, 2020, 35(Z1): 90-90
Ultra-high Vacuum Gate Valve. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2020, 35(Z1): 90-90
超高真空闸板阀:CCQ-J系列、CC-J系列、CCQ-200-JA系列、CC-B系列
Ultra-high Vacuum Gate Valve

主要技术与性能指标

●可以在1×10−8 Pa条件使用

●漏率＜5×10−11 Pa · m3/s

主要应用

科学仪器、半导体、大科学装置、航空航天仪器等全行业的高端应用

代表性应用成果

广泛应用于各种超高真空系统及IC装备真空系统的气流隔断或接通，可替代同类进口产品

主要用户单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院上海应用物理研究所等的国家重大科技基础设施，以及清华大学、北京大学、电子科技大学、南开大学、复旦大学
研制单位 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
联系方式 万向明  024-23826861，13998191237  wanxm@sky.ac.cn