主要技术与性能指标

低温扫描隧道显微镜-分子束外延联合系统  ● 新型潘氏扫描探头，具备qPlus AFM      变温扫描隧道显微镜系统

● SPM腔：真空度≤ 5×10⁻¹⁰ mbar                         功能                                                      ● 本底真空：≤ 3×10⁻¹⁰ mbar；

● MBE腔：真空度≤ 5×10⁻¹⁰ mbar                      ● 分辨率：原子分辨                                  ● 快速降温和升温

● Load-lock腔：真空度≤ 1×10⁻⁷ mbar               ● 多源MBE样品制备，可原位沉积             ● 工作温度范围：8—290 K

● 最低工作温度: ≤ 5 K                                           ● 五轴运动高低温样品台：X/Y轴±12.5     ● 分辨率：原子分辨

● 低温保持时间≥ 50 h（液氦容积4 L、液                  mm，手动；Z轴450 mm，步进电机     ● 低温恒温器类型：持续流

  氮容积15 L）                                                      ● 温度范围：120 K~ 室温（LN2冷却），  ● 冷却时间：~ 2 h

● 温度稳定性：＜0.2 nm/h                                       室温~1450 K（E-Beam加热）              ● 液氦消耗率：1 L/h

主要应用

分子电子学、有机功能分子物性研究、单分子/原子尺度化学反应、有机分子/原子自组装及聚合、新型二维原子晶体制备及研究、超导材料的表征、原子级磁性研究（Kondo效应、自选等）、微观人工纳米结构构建

代表性应用成果

Wu Z B, Gao Z Y, Chen X Y, et al. A low-temperature scanning probe microscopy system with molecular beam epitaxy and optical access. Review of Scientific Instruments, 2018, 89: 113705.