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平面激光干涉仪: PG15
Plane Laser Interferometer
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 112-112
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 112-112

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平面激光干涉仪: PG15. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 112-112
Plane Laser Interferometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 112-112
平面激光干涉仪: PG15
Plane Laser Interferometer

性能指标

● 可测元件直径：≤ 200 mm   ● 测量波长：632.8 nm或根据用户需求定制

● 测量精度：优于1/20波长  ● 可选配机械式相移功能

主要应用

广泛地应用于精密光学制造、半导体等

代表性应用成果