主要技术与性能指标

● 偏心测量精度：≤ 0.1 μm   ● 转台口径尺寸：200 mm（可定制）  ● 间隔测量精度：≤ 0.7 μm

● 间隔测量范围：≤ 350 mm   ● 间隔测量中心波长：1 310 nm

主要应用

● 测量光学镜片/镜组参数，包括曲率半径、中心厚度、偏心  ● 镜片 - 镜片/镜片 - 镜座高精度定心胶合

● 光学镜头数字化装配，避免间隔和偏心公差窜扰

代表性应用成果

用于镜片 - 镜片及镜片 - 镜座的高精度定心胶合，胶合精度优于15角秒。用于NA1.40显微物镜的数字化装配，可实现装配过程中镜组偏心和镜面间隔的实时测量