主要技术与性能指标

具备转速、偏心距、校正盘卸荷等全工艺参数自动监测和控制功能，用于高精度平面光学元件加工等。

● 抛光盘：ϕ800—5 000 mm   ● 大盘平面度：≥ 0.005 mm   ● 校正盘平整度：≥ 0.003 mm

● 台面端跳：≥ 0.03 mm

主要应用

主要用于高精度平面零件加工，具有工件盘、校正盘主动数控环抛功能、各盘坐标定位功能、温控系统、自动加液系统，以及其他结合工艺要求的特殊系统和功能

代表性应用成果

实现了神光Ⅰ、神光Ⅱ、神光Ⅱ升级、神光Ⅲ主机中钕玻璃元件的全指标加工；完成了上海超强超短激光装置（SULF）中大口径平面镜、中小口径平面镜、光栅基板等元件加工，有效保证了SULF装置的有效运行