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系列真空泵
Roots Blower Vacuum Pumps
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 129-129
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 129-129

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系列真空泵. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 129-129
Roots Blower Vacuum Pumps. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 129-129
系列真空泵
Roots Blower Vacuum Pumps

主要技术与性能指标

系列罗茨干式真空泵  ● 抽速：600—4 200 m3/h   ● 极限压力：0.2 Pa

系列涡旋干式真空泵  ● 抽速：2—16 L/s   ● 极限压力：< 1 Pa

主要应用

集成电路、大科学工程等领域

代表性应用成果

● 系列罗茨干式真空泵：集成电路、太阳能电池、LED、生物医药、冶金等领域

● 系列涡旋干式真空泵：大科学工程、生物制药、食品安全、手机屏贴合等领域