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超高精度压力传感器：RPS2511/12、RPS2521/22、RPS5611/12、RPS5621/22 RPS2501/02、MERTP-M1
Pressure Sensor with High Accuracy
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 140-140
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 140-140

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超高精度压力传感器：RPS2511/12、RPS2521/22、RPS5611/12、RPS5621/22 RPS2501/02、MERTP-M1. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 140-140
Pressure Sensor with High Accuracy. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 140-140
超高精度压力传感器：RPS2511/12、RPS2521/22、RPS5611/12、RPS5621/22 RPS2501/02、MERTP-M1
Pressure Sensor with High Accuracy

主要技术与性能指标

● 量程：0—110 kPa、0—140 kPa、0—266 kPa、0—350 kPa、0—1 MPa  ● 环境适应性：GJB 150

● 温度范围：−55℃—85℃、−40℃—60℃、−10℃—40℃  ● 综合精度：：0.01% F.S、0.02% F.S、0.05% F.S

主要应用

用于航空、气象、光刻机、卫星、计量等领域的超高精度压力测量

代表性应用成果