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氟油检漏平台：HF-3型、HF-4型
Fluorined Oil Leak Detection Device
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 150-150
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 150-150

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氟油检漏平台：HF-3型、HF-4型. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 150-150
Fluorined Oil Leak Detection Device. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 150-150
氟油检漏平台：HF-3型、HF-4型
Fluorined Oil Leak Detection Device

主要技术与性能指标

●加压罐本底真空度：优于50 Pa       ●充气压力：≤ 1.0 MPa

●加热温度：125℃ ±5℃         ●升温时间：从室温到125℃，≤ 30 min

●氦气罐尺寸：157 mm×246 mm       ●氮气罐尺寸：157 mm×246 mm

主要应用

半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行检漏

代表性应用成果

半导体器件、集成电路等