二维机械手:C50
Two-Dimensional Manipulator

主要技术与性能指标

●可以在大气~2×10−8Pa条件下可靠使用          ●线性耦合动力: 180 N

●耦合动力扭矩: 4 N/M

主要应用

科学仪器、真空互联装置等

代表性应用成果

满足真空腔体内的线性运动和旋转运动或几种组合使用要求,能够将样品传递到真空腔体内的指定位置