主要技术与性能指标

●延时范围: 0—1 000 μs        ●通道数: 3(根据需求可增至50个通道)

●分辨率: 5 ns (根据需求可降低至1 ns)

●抖动: < 50 ps (任意输出间); < ± 2.5 ns (任意输出相对外部输入触发)(根据需求可降低至±0.5 ns)

●上升沿与下降沿: ~1.3 ns        ●触发方式: 外触发/内触发        ●控制方式: 触屏/上位机

主要应用

信号延时、激光时序控制、光电系统、测试与测量系统、高精度脉冲应用等

代表性应用成果

●DUV光刻光源系统中MOPA结构双腔准分子激光器的高精度同步触发控制

●EUV光刻光源系统中液滴、预激光脉冲、主激光脉冲间高精度延时和时序控制