表(Table )
引用本文
旗形光学面形仪: FSP-01s. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 55-55
Flag-type Optical Surface Profiler. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 55-55
旗形光学面形仪: FSP-01s
Flag-type Optical Surface Profiler
●测量口径：1 000 mm ●测量重复精度：17 nrad ●平面测量精度：25 nrad
●曲面测量精度：32 nrad ●第三方比对测量精度：0.1 nm
主要应用用于大尺寸光学表面面形的超高精度测量
代表性应用成果解决了高能同步辐射光源建设中对超高精度光学检测的核心技术问题，依赖该仪器完成了超高精度椭圆压弯聚焦镜的研制，解决了国内自主研制X射线反射镜的面形检测，以此为基础，解决了合肥先进光源预研中镜面和光栅检测的技术需求
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