场发射枪扫描电子显微镜: KYKY-EM8000/8100

Field Emission Scanning Electron Microscope

中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 63-63

Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 63-63

引用本文

场发射枪扫描电子显微镜: KYKY-EM8000/8100. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 63-63

Field Emission Scanning Electron Microscope. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 63-63

场发射枪扫描电子显微镜: KYKY-EM8000/8100

Field Emission Scanning Electron Microscope

主要技术与性能指标

●分辨率：1 nm@30 kV，3 nm@1 kV

主要应用

材料的微观表征、失效分析、半导体检测、生命科学研究、环境保护等

代表性应用成果