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热丝法化学气相沉积设备: HF-650型
Hot Filament Chemical Vapour Deposition(HFCVD)
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 69-69
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 69-69

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热丝法化学气相沉积设备: HF-650型. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 69-69
Hot Filament Chemical Vapour Deposition(HFCVD). Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 69-69
热丝法化学气相沉积设备: HF-650型
Hot Filament Chemical Vapour Deposition(HFCVD)

主要技术与性能指标

●立式圆柱形型钢腔体，内部尺寸：Ф 650 mm×600 mm  ●热丝表面最高温度：＞2 500 ℃

●样品台尺寸：Ф 200 mm                                                 ●系统的极限压强：≤ 5 Pa

主要应用

硼掺杂金刚石薄膜制备、金刚石涂层刀具制备

代表性应用成果