0

文章信息

高能衍射仪: RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 74-74
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 74-74

文章历史

工作空间

引用本文           
高能衍射仪: RHEED-15、RHEED-25. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 74-74
Reflective High Energy Electron Diffractometer. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 74-74
高能衍射仪: RHEED-15、RHEED-25
Reflective High Energy Electron Diffractometer

主要技术与性能指标

● 能量范围：15—35 keV    ● 束斑直径：50—80 μm    ● 工作气压范围：1×10-8—102 Pa

● 纹波系数：0.05%

主要应用

作为薄膜材料制备中原位实时测监手段用于高端科研仪器上，在MBE、PLD、ALD、MOCVD等设备上被广泛应用

代表性应用成果