有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备
Organic Thin Film Solar Cells/OLED Deposition Equipment

主要技术与性能指标

●极限压力:≤ 6×10-5 Pa      ●样品尺寸:最大10 cm

●具有掩膜互换功能

主要应用

●用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备

●可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研或小批量制备

代表性应用成果

用于钙钛矿薄膜电池技术的研制和开发,也可用于有机发光技术OLED科学验证与开发