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蒸发源及控制器: EBE35A、RHE35A、AME35A、RHE100A、TCC100A等 EBC103、MTC110、MTC210、MTC220、BC206等
Evaporators and Controllers
中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 80-80
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 80-80

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蒸发源及控制器: EBE35A、RHE35A、AME35A、RHE100A、TCC100A等 EBC103、MTC110、MTC210、MTC220、BC206等. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 80-80
Evaporators and Controllers. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 80-80
蒸发源及控制器: EBE35A、RHE35A、AME35A、RHE100A、TCC100A等 EBC103、MTC110、MTC210、MTC220、BC206等
Evaporators and Controllers

主要技术与性能指标

●电阻加热蒸发源- 法兰：DN 40 CF-DN 100 CF；温度范围：100℃-1 500℃；多种坩埚尺寸可选

●裂解源- 法兰：DN 40 CF-DN 100 CF；温度范围：低温区100℃-400℃，高温区300℃-800℃

●电子束加热蒸发源- 法兰：DN40CF；源数量：1；最高工作温度范围：≥ 3 000℃

●电子束加热控制器- 高压源：0-2 000 V，250 W；束流检测范围：100 pA-1 mA；灯丝电流：0-7 A

●多功能温度控制器输出功率：800 W或1 600 W；输出电流：40 A；控温精度：±0.1℃

主要应用

适用于MBE、表面科学、薄膜生长、样品制备及半导体材料、低维超导与拓扑材料，量子材料、磁性拓扑绝缘体材料、新型半导体电子材料等研究领域；非常适合用于蒸发高温难熔金属

代表性应用成果