表(Table )
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源表级多通道气体敏感测试平台：SMP-4. 中国科学院院刊, 2021, 36(Z1): 89-89
Source Meter-based Multichannel Gas Sensing Test Platform. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2021, 36(Z1): 89-89
源表级多通道气体敏感测试平台：SMP-4
Source Meter-based Multichannel Gas Sensing Test Platform
●精密源表采集薄膜分压信号，0.1 mV级精度 ●功率法精确控温，不同器件也可确保薄膜表面温度一致
●电阻测量范围宽，可精确测量GΩ级气敏器件 ●无需手工焊接电阻板卡，匹配电阻一键程控切换
●兼容目前所有类型气敏元件，含陶瓷管、平面叉指及MEMS型
主要应用可以简便可靠地测量分析半导体薄膜在一系列工作温度下对特定目标气体的灵敏度、响应时间、恢复时间、浓度- 强度关系、抗干扰能力等气敏性能，并优选最佳工作温度，评估其性能稳定性
代表性应用成果基于平台已研发出针对NO2、CO、H2、沙林毒气、典型VOC污染物等具有高特异性、高灵敏响应的传感器件，并针对低、中、高应用场景，研制了具有不同功耗需求的传感器，功耗最低可至10 mW，可为物联传感网络提供核心的前端传感器
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