主要技术与性能指标

低温扫描隧道显微镜- 分子束外延联合系统/ 变温扫描隧道显微镜系统

● SPM腔：真空度≤ 5× 10⁻¹⁰ mbar  ● MBE腔：真空度≤ 5× 10⁻¹⁰ mbar  ●最低工作温度: ≤ 5 K

● Load-lock腔：真空度≤ 1× 10⁻⁷ mbar  ●低温保持时间≥ 50 h（液氦容积4 L、液氮容积15 L）

●温度稳定性：< 0.2 nm/h

高通量激光分子束外延- 低温扫描隧道显微镜联合系统

● STM腔：真空度≤ 5× 10⁻¹⁰ Torr  ● RTTA腔：真空度≤ 5× 10⁻¹⁰ Torr  ● LMBE腔：真空度≤ 7× 10⁻⁹ Torr

● Load-lock腔：真空度≤1× 10⁻⁷ Torr  ● Buffer腔：真空度≤1× 10⁻⁶ Torr

主要应用

分子电子学、有机功能分子物性、单分子/ 原子尺度研究；化学反应、有机分子/ 原子自组装及聚合、新型二维原子研究；晶体制备及研究、超导材料的表征、原子级磁性研究（Kondo效应、自选等）、微观人工纳米结构构建。可用于高效合成组分连续变化的新型薄膜材料+ 精确控制材料的组分和结构；高效、精确地原位表征其表面形态+ 电子状态

代表性应用成果

Ze-Bin Wu, Zhao-Yan Gao, Xi-Ya Chen, et al. A low-temperature scanning probe microscopy system with molecular beam epitaxy and optical access. Review of Scientific Instruments, 2018, 89: 053107.

Ge He, Zhong-Xu Wei, Zhong-Pei Feng, et al. Combinatorial laser molecular beam epitaxy system integrated with specialized lowtemperature scanning tunneling microscopy. Review of Scientific Instruments, 2020, 91: 013904.