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固态纳米孔制备仪: CASIA-OPT-01
Solid-state Nanopore Dielectric Breakdown Apparatus
中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 128-128
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 128-128

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固态纳米孔制备仪: CASIA-OPT-01. 中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 128-128
Solid-state Nanopore Dielectric Breakdown Apparatus. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 128-128
固态纳米孔制备仪: CASIA-OPT-01
Solid-state Nanopore Dielectric Breakdown Apparatus

主要技术与性能指标

●纳米孔孔径：0.5—200 nm   ●单个纳米孔成孔时间：< 1 s   ●纳米孔位置精度：>100 nm

●可制备纳米孔阵列  ●加工薄膜厚度：0.35—200 nm   ●加工行程：25 cm×25 cm

主要应用

氮化硅、石墨烯、二氧化硅、二硫化钼、二硫化钨、PMMA固态纳米孔/ 阵列原位精确快速制备

代表性应用成果

制备1—60 nm的氮化硅阵列纳米孔，测试RNA分子（如图）；

制备0.5—60 nm的石墨烯纳米孔；

制备2—200 nm的PMMA纳米孔