场发射扫描电子显微镜: KYKY-EM8100

Field Emission Scanning Electron Microscope

中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 34-34

Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 34-34

引用本文

场发射扫描电子显微镜: KYKY-EM8100. 中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 34-34

Field Emission Scanning Electron Microscope. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 34-34

场发射扫描电子显微镜: KYKY-EM8100

Field Emission Scanning Electron Microscope

主要技术与性能指标

● 分辨率：1 nm@30 kV，3 nm@1 kV

主要应用

导体检测、生命科学研究、环境保护等

代表性应用成果