表(Table )
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有机、无机薄膜沉积设备. 中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 41-41
Organic and Inorganic Film Deposition Equipment. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 41-41
有机、无机薄膜沉积设备
Organic and Inorganic Film Deposition Equipment
有机薄膜太阳能电池/OLED沉积设备
● 极限压力：≤ 6×10-5 Pa ● 样品尺寸：最大10 cm ● 具有掩膜互换功能
主要应用● 用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备
● 可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研或小批量制备
代表性应用成果用于钙钛矿薄膜电池技术的研制和开发，也可用于有机发光技术OLED科学验证与开发
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