主要技术与性能指标

● 光谱椭偏测试波长范围：190—2 100 nm

● 成像椭偏光源波长：635 nm，入射角度从10°到80°，角度调节精度≥ ±0.005°

● 起偏器旋转角度范围：0°—360°，检偏器旋转角度范围：0°—90°，旋转精度优于±0.01°

主要应用

可实现纳米超薄膜、单层/少数层二维材料、半导体晶圆、自组装单分子层、高分子薄膜、金属薄膜、光学镀膜、光学晶体等材料的微区和大面积椭圆偏振测量，具备布鲁斯特教显微镜、表面等离子共振、缺陷检测、折射率精准测定、生物传感等多种功能和应用

代表性应用成果