主要技术与性能指标

●输出功率：1 W额定功率连续可调，正反向功率真彩色LCD智能显示          ●模拟口：15针D型（阴性）（选配）

●承受最大反射功率：200 W          ●最大输出功率裕度：20%          ●频率信号：13.56 MHz标准正弦波

●功率稳定度：≤ ±0.5%（额定功率输出时）          ●外部时钟同步（CEX）：BNC（阴性）          ●交流供电口：AC2

●串口：RS232/RS485/USB通讯协议（选配）          ●射频输出口：标准同轴接头输出（M/N型，阴性）

主要应用

广泛应用于等离子体研究、集成电路工艺设备、太阳能光伏工业、薄膜增长、等离子清洗等领域；现有固态射频电源、电子管射频电源、阻抗匹配器、稳流源等多种产品，产品涵盖沉积、刻蚀、注入、光学检测、射频放电等方面，已广泛应用于国内微电子行业、各大高校及科研院所

代表性应用成果

多靶磁控溅射仪、多功能磁增强反应离子刻蚀机，基于螺旋波放电的离子发生器实验系统等