主要技术与性能指标

FF-40/25                                    FF-63/80                                    FF-100/150                            FF-100/300

● N₂抽速22 L/s                          ● N₂抽速82 L/s                         ● N₂抽速140 L/s                     ● N₂抽速295 L/s

● 极限真空1×10^-4 Pa（KF）      ● 极限真空8×10^-6 Pa（CF）      ● 极限真空2×10^-7 Pa（CF）    ● 极限真空5×10^-7 Pa（CF）

● 额定转速36 000 r/min            ● 额定转速72000 r/min              ● 额定转速51 000 r/min           ● 额定转速51 000 r/min

● N₂压缩比10⁶, 重量3 kg          ● N₂压缩比10⁸, 重量3.5 kg        ● N₂压缩比10⁷, 重量8.6 kg       ● N₂压缩比10⁹, 重量11.0 kg

主要应用

仪器分子泵为真空获得设备。系列产品主要应用于科学研究、质谱分析、表面分析、检漏仪器、电子显微镜、加速器、等离子检测、残余气体分析等，同时也可为客户提供定制化解决方案

代表性应用成果

● 科学研究：为粒子加速器、真空镀膜机、结构表征设备及中小型科学仪器提供高真空环境

● 质谱分析：为质谱仪器中离子源、质量分析器、检测器及数据处理系统等提供高真空环境，用于化合物的定量分析