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接触式曝光机系列: URE系列
Mask Aligner
中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 64-64
Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 64-64

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接触式曝光机系列: URE系列. 中国科学院院刊, 2022, 37(Z1): 64-64
Mask Aligner. Bulletin of Chinese Academy of Sciences, 2022, 37(Z1): 64-64
接触式曝光机系列: URE系列
Mask Aligner

主要技术与性能指标

URE-2000接触式深度曝光机系列

● 分辨率：0.8—1.0 μm    ● 套刻精度：0.5 μm    ● 曝光面积：1—6英寸    ● 可添加纳米压印接口

URE-2000S接触式双面曝光机系列

● 单面对准精度：0.5 μm    ● 分辨率：1.0 μm    ● 双面对准精度：0.5—1.0 μm    ● 曝光面积：1—8英寸

● 曝光方式：底面对准或双曝光头方式                 ● 可添加纳米压印接口

主要应用

集成电路、半导体元器件、光电子器件、光学器件的研制和生产

代表性应用成果