主要技术与性能指标

● 测量口径：Φ600 mm（可定制到Φ800 mm）    ● 标准参考镜面形精度（PV）：优于0.1 λ

● 重复性RMS：优于0.6 nm                                     ● 系统传递函数：（ITF）> 0.7@0.4 cycles/mm

● 拼接测量口径：1 400 mm×420 mm                    ● 拼接测量精度（PV）：优于0.1λ

主要应用

强激光装置、天文光学、空间光学等领域大口径光学元件检测

代表性应用成果

发明专利

● 刘世杰, 周游, 白云波, 等. 大口径高平行度光学元件波前检测装置: 中国, ZL 201610024221.1. 2018-12-25.

● 刘世杰, 周游, 白云波, 等. 双通道双波长干涉检测装置: 中国, ZL 201610551583.6. 2019-06-18.

● 刘世杰, 白云波, 周游, 等. 平面光学元件绝对面形检测装置: 中国, ZL 201710380378.2. 2019-05-17.