衍射光栅(平面刻划光栅、平面全息光栅、曲面全息光栅)
Diffraction Gratings
平面刻划光栅 ● 光栅最大尺寸:400 mm×500 mm ● 刻线密度:5—5 000 gr/mm ● 光栅衍射效率:优于理论值90%
● 光栅杂散光:10−4 ● 光栅衍射波前:优于λ/4(@632.8 nm)
平面全息光栅 ● 最大光栅尺寸:200 mm×200 mm ● 刻线密度:10—4 300 gr/mm ● 衍射效率:95% ● 杂散光:10−4
曲面全息光栅 ● 最大光栅尺寸:200 mm×200 mm ● 刻线密度:10—4 300 gr/mm ● 波段范围:20—12 00 nm
主要应用高端光谱分析仪器、天文望远镜、激光器、深空探测、光通信、精密位移测量、同步辐射等领域
代表性应用成果在支撑我国重大工程任务方面,为“羲和号”“天问一号”“风云3号”、高端光刻机、大型天文望远镜等定制高精度特种光栅;在推动国民经济发展方面,研制的多款高精度光栅,品质超越国际知名公司产品,打破了国外垄断,大幅降低了我国仪器成本,提高了产品竞争力
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