衍射光栅(平面刻划光栅、平面全息光栅、曲面全息光栅)
Diffraction Gratings

主要技术与性能指标

平面刻划光栅  ● 光栅最大尺寸:400 mm×500 mm    ● 刻线密度:5—5 000 gr/mm      ● 光栅衍射效率:优于理论值90%

                           ● 光栅杂散光:10−4                            ● 光栅衍射波前:优于λ/4(@632.8 nm)

平面全息光栅  ● 最大光栅尺寸:200 mm×200 mm    ● 刻线密度:10—4 300 gr/mm    ● 衍射效率:95%    ● 杂散光:10−4

曲面全息光栅  ● 最大光栅尺寸:200 mm×200 mm    ● 刻线密度:10—4 300 gr/mm    ● 波段范围:20—12 00 nm

主要应用

高端光谱分析仪器、天文望远镜、激光器、深空探测、光通信、精密位移测量、同步辐射等领域

代表性应用成果

在支撑我国重大工程任务方面,为“羲和号”“天问一号”“风云3号”、高端光刻机、大型天文望远镜等定制高精度特种光栅;在推动国民经济发展方面,研制的多款高精度光栅,品质超越国际知名公司产品,打破了国外垄断,大幅降低了我国仪器成本,提高了产品竞争力