主要技术与性能指标

● X、Y、Z轴有效行程：465 mm、330 mm、115 mm             ● X/Y轴复位运动精度：0.5 μm

● Z轴步进运动精度：0.2 μm    ● X/Y轴最大运动速度：≥ 200    ● X/Y轴最大加速：≥ 0.5 g

● AD转换速率：1 GHz             ● AD转换精度：8 bit                   ● 脉冲能量：≥ 3.3 μJ

主要应用

主要应用于高技术含量的先进制造业，通过对被检测产品全生命周期，包括设计、加工、制造及使用过程的无损检测与缺陷监控，提高产品合格率，降低意外风险。主要应用行业包括：集成电路制造、加工、测试、航空航天、复合材料制造、生物医药等

代表性应用成果

使用SAM对中国科学院计算技术研究所DPU进行缺陷检测，下为DPU上表面图像，中为中间层（Die）图像，右为下表面（PBA焊点层）和内部结构三维重建的图像