主要技术与性能指标

● 光谱范围：1—10 μm    ● 光谱分辨率：2 cm⁻¹    ● 信噪比：≥ 100 ∶ 1

● 空间分辨率：≤ 50 μm   ● 检测器：MCT面阵检测器

主要应用

红外显微成像光谱分析仪属于西方严格禁运范畴，该仪器打破了国际封锁，填补了国内高放大倍率、高分辨率微区红外光谱仪的空白。在生物医学分析、矿物成分鉴定、材料微结构分析及半导体镀层分析提供丰富的信息量，为我国红外材料评价、生物分析、半导体物理、工程化学、生物医学的科学研究提供技术支撑

代表性应用成果

显微红外成像光谱仪提供晶圆材料和镀膜工艺的微区红外波段评价手段，完成对红外FPA器件有效像元率的提高及像元响应一致性的技术支撑；显微红外傅里叶光谱仪测量硫化亚铁、硫化镉等样品的反射光谱